潔淨室微塵粒之標準
全國聯邦規格(Fed.Std.209E)等級分類表
ISO/TC209 (ISO 14644-1) 潔淨標準
ISO/TC209 與 Fed.Std.209E之比較
無塵室(ICR)無菌室(BCR)的環境狀況
風量換算表
